Доброго времени суток, товарищи.
Столкнулись с такой проблемой: станок перестал достигать вакуума, откачивает до 65 hPa и дальше не идет. Грешили на насос. Поменяли на новый, проблема не решилась. Сделали тест на утечку - показывает жуткие цифры, в районе 50 hPa/min. На основании этого решили, что в вакуумных трубках обрыв. Провели новые трубки напрямую с насоса до резонатора. Ситуация не поменялась.
В чем еще может быть проблема?
Заранее спасибо.
Столкнулись с такой проблемой: станок перестал достигать вакуума, откачивает до 65 hPa и дальше не идет. Грешили на насос. Поменяли на новый, проблема не решилась. Сделали тест на утечку - показывает жуткие цифры, в районе 50 hPa/min. На основании этого решили, что в вакуумных трубках обрыв. Провели новые трубки напрямую с насоса до резонатора. Ситуация не поменялась.
В чем еще может быть проблема?
Заранее спасибо.